Messmaschine Zeiss Surfcom

Messmaschine Zeiss Surfcom
Anschaffungsjahr 2015
Bqybkst
Software Acctee Ver_5.14.4.0
Zubehör PC System
Spezifikationen Messbereich mit Standard-Tastarm 1mm
Messabweichung +/- 2% bei 20 µm Rille
Auflösung 0,1nm/6,4-µm-Bereich & 10nm/1000-µm Bereich
Vorschubweg 1000mm (200mm)
Geradheitsabweichung 0,05 (+L/1.000)µm
Messprinzip Linearmotor mit Glasmaßstab
Auflösung 0,016µm
Anzahl der Messpunkte max. 32.000
Z-Säulen-Höhe 450mm (250mm, 650mm)
Verfahrgeschwindigkeit in Z max. 10mm/